ERUN-PG51SH4固定在線式硅烷氣體檢測(cè)報(bào)警儀適用于單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等含硅物質(zhì)生產(chǎn)過程中空氣中的SiH4四氫化硅氣體濃度監(jiān)測(cè),固定式硅烷氣體濃度檢測(cè)儀可以固定安裝在現(xiàn)場(chǎng)區(qū)域連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)甲硅烷氣體的泄漏及濃度變化,在線式硅烷蒸氣泄漏報(bào)警器在檢測(cè)到硅烷蒸氣濃度超過預(yù)設(shè)的報(bào)警濃度值時(shí)就會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警,聯(lián)動(dòng)風(fēng)機(jī)電磁閥等自動(dòng)工作,同時(shí)還可以同步在監(jiān)控主機(jī)實(shí)時(shí)顯示硅烷氣體濃度值和報(bào)警狀態(tài)。
產(chǎn)品型號(hào) | ERUN-PG51SH4 | ||||
檢測(cè)氣體 | 硅烷SiH4 | ||||
檢測(cè)范圍 | SiH4:0-100ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器 或 SiH4:0-100%LEL、0.1%LEL、工業(yè)級(jí)催化燃燒原理傳感器 其他量程、原理、分辨率可訂制 |
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檢測(cè)精度 | ≤±3%F.S(更高精度可訂制) | ||||
重 復(fù) 性 | ≤±2% | ||||
線 性 度 | ≤±2% | ||||
不確定度 | ≤±2% | ||||
響應(yīng)時(shí)間 | T90≤20秒 | ||||
恢復(fù)時(shí)間 | ≤30秒 | ||||
信號(hào)輸出 | 總線制RS485(Modbus-RTU),分線制4~20mA, 選配:0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無線傳輸、網(wǎng)絡(luò)傳輸、短信報(bào)警。 |
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工作方式 | 固定式安裝,在線檢測(cè),擴(kuò)散式測(cè)量;可選管道式、流通式、泵吸式測(cè)量。 | ||||
顯示方式 | 現(xiàn)場(chǎng)1.7寸高清彩屏顯示,可選現(xiàn)場(chǎng)無顯示,或選配ERUN-PG32E控制器遠(yuǎn)程顯示、控制、報(bào)警 | ||||
報(bào)警方式 | 默認(rèn)1路,可選2路無源觸點(diǎn)(干節(jié)點(diǎn))輸出,三級(jí)報(bào)警,報(bào)警點(diǎn)可設(shè)置 現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警 |
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安裝方式 | 管道式、壁掛式。管道式的工作壓力為大氣壓±30%,超出范圍需降壓處理。 | ||||
工作電壓 | 12~30VDC直流,單臺(tái)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)電源為24V,1A或大于1A 的直流穩(wěn)壓開關(guān)電源 | ||||
工作環(huán)境 | 溫度:-40℃~+70℃,濕度:≤10~95%RH (常規(guī))非凝露場(chǎng)合 在凝露場(chǎng)合使用須訂制或訂貨時(shí)注明使用環(huán)境 |
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電氣接口 | 3/4NPT,可選M20*1.5內(nèi)螺紋、1/2NPT | ||||
連接電纜 | 4~20mA選三芯屏蔽電纜,RS485選四芯,距離超1000米時(shí)單根線徑≥1.5mm;屏蔽層接大地。 | ||||
防護(hù)等級(jí) | IP65級(jí)防水防塵 | ||||
防爆類型 | 隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆 | ||||
外型尺寸 | 210×170×85mm(L×H×W) | ||||
重 量 | 1600g |